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华中航与著名院校确立产学研项目合作

发布日期:2019-08-08


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201988日,华中航与清华大学、上海理工大学、山东大学及中科院长春光学精密机械物理研究所签署合作协议,确定“纳米及晶圆光刻标校光栅标准器关键技术研究及计量标准器研制”科研合作项目。本项目重点在光栅运用起列实质性的作用,也为能谱测量国产化提供可行性途径,研究成果将大大提高半导体晶圆测试方面的水平,为IC测试提升一个纳米级。